真空氣氛爐的用途
真空氣氛爐是一種在氣氛保護下對材料燒結的真空電爐，主要用于氮化硅、碳化硅等陶瓷材料在氣氛（如N2、Ar、H2）下燒結，也可用于其他材料的吸氮、吸氫反應。氣氛燒結爐用石墨或貴金屬做發熱體，發熱體在非氧化性氣氛下通過流經的電流發熱，在爐體內部產生大量的熱量。爐體內部使用碳氈或全金屬作為隔熱、保溫層，爐壁為雙層水冷結構，把爐體內散出的熱量帶走，從而使爐壁溫度不會過高。
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