真空爐廣泛使用在粉末冶金和金屬材料熱處理等行業。下面詳細介紹一下真空爐的種類：

a.按用途可分為真空氣氛爐、真空碳化爐、真空燒結爐、真空退火爐、真空淬火爐、真空回火爐以及真空滲碳爐等。

b.按熱源可分為電阻加熱真空爐、感應加熱真空爐、電弧加熱真空爐、等離子弧加熱真空爐和電子束加熱真空爐。

c.按真空度可分為低真空爐、高真空爐和超真空爐。

d.按工作溫度可分為低溫真空爐(低于700℃)、中溫真空爐(700-1000℃)和高溫真空爐(1000℃以上)。

e.按作業性質可分為周期式真空爐和連續式真空爐。

f.按真空爐的外形可分為豎式真空爐和臥式真空爐。

從真空爐的結構和加熱方式的角度上可以歸納為兩大類：一類是外熱式真空爐，另一類是內熱式真空爐，兩者均以真空電阻爐為主。外熱式真空爐通常稱為熱壁爐，也稱為馬弗爐。這種爐子的加熱部分與隔熱部分，即電熱元件和隔熱層設置在真空室外面，工件放在真空室的內部，工件依靠間接加熱。真空退火爐往往是外熱式真空熱處理爐。內熱式真空爐通常稱為冷壁爐。這種爐子的電熱元件和隔熱層構成的加熱室，全部放在水冷夾層結構的真空爐殼內。內熱式真空爐與外熱式真空爐相比，構造復雜，但使用溫度高、熱效率高、生產率也高，可以實現快速加熱和快速冷卻。因此，內熱式真空爐得到了迅速發展，已成為真空燒結和真空退火、真空淬火、真空回火的主要用爐。